華燦光電與澳企合作 共探RPCVD技術應用

 澳大利亞公司BluGlass有限公司宣布，它將與中領先的LED芯片廠商華燦光電合作，探索氮化鋁（AlN）低溫沉積在高亮度LED上的應用，并探索RPCVD在綠色LED生產上的優勢。通過該合作協議，華燦光電將為BluGlass提供4英寸晶圓產品，并制造用于測試的LED器件。 

    通過該協議，BluGlass打算為華燦光電系統演示其具備成本和性能優勢的低溫遠程等離子體化學氣相沉積(RPCVD)技術，可用于綠色LED的p-GaN層低溫沉積。該公司還計劃探索在藍寶石襯底上采用氮化鋁（AlN）低溫沉積用于高亮度LED的制造。 

    BluGlass 2015年從澳大利亞悉尼麥考瑞大學三族氮化物部門獨立出來之后，研發了一種在玻璃襯底上使用遠距離等離子低壓化學氣相沉積（RPCVD）氮化鎵（GaN）和氮化鎵銦(InGaN)等材料的低溫工藝。此工藝生產的發光二級管（LED）和太陽能電池具有節省成本、吞吐量大和效率高等優勢。BluGlass擁有該項技術在美、中、歐洲和日本等主要半導體市場的專利權。 

    而華燦光電是中著名的LED芯片制造商，公司致力于研發、生產、銷售以GaN基藍、綠光系列產品為主的高質量LED外延材料與芯片，擁有際領先的技術研發能力和成熟的生產工藝。 

    據悉，兩家公司預計發展需要若干次迭代以演示其性能的能力。華燦將使用BluGlass的新RPCVD腔室設計，以提高PRCVD沉積的均勻性用來制造LED。華燦預計在未來幾個月內委托BluGlass打造RPCVD設備，雙方將攜手合作，改進工藝，促使BluGlass系統能夠以低成本制造高效率高亮度的綠色和白色LED。